атомы образца, выбивая электроны с внутренних орбиталей атома. Вакансия может
быть заполнена электроном с более высокой орбитали, при этом излишек энергии испускается в виде кванта характеристического рентгеновского излучения (ХРИ).Набор возможных значений ΔЕij определяется электронным строением атома и является уникальным для каждого химического элемента → зная энергию кванта ХРИ, можно определить, каким химическим элементом данный квант был испущен
Электроны, сталкивающиеся с ядром атома образца, испытывают торможение в кулоновском поле ядра, что вызывает рентгеновское излучение, которое называют тормозным (ТРИ).