Схема поршневого насоса

вращающихся (ротор) и неподвижных (статор) пропеллеров. Пропеллеры ротора и статора

чередуются и имеют противоположный наклон лопаток.

Работа насоса основана на передаче момента энергии от поверхности быстро вращающегося пропеллера
к молекуле газа.

Скорость движения поверхности должна быть высокой для того, чтобы достичь оптимальной эффективности откачки (скорости откачки и отношения сжатия).

При столкновении молекулы газа с поверхностью пропеллера составляющая скорости движения молекулы, направленная вниз увеличивается, вследствие чего вероятность движения молекулы в направлении А-В значительно возрастает в сравнении с вероятностью движения в направлении В-А. Чередование ступеней ротора и статора в обычном турбомолекулярном насосе обеспечивает отношение сжатия.

В связи с этим у крионасосов отсутствуют какие-либо подвижные части

или жидкие среды, контактирующие непосредственно с вакуумом из откачиваемого объема. Это обстоятельство полностью исключает вероятность загрязнения рабочего объема в процессе откачки.

действия основан на физической адсорбции газа кристаллическими пористыми алюмосиликатами, получившими

название молекулярных сит или искусственных цеолитов.

в результате хемосорбции газов постоянно возобновляемой пленкой титана. Непременным условием

эффективной и устойчивой работы магниторазрядных насосов, является соответствие количества распыляемого титана количеству поступающего газа.

хотя могут быть использованы и другие металлы (барий, хром).

Титан

образует практически нелетучие при комнатной температуре устойчивые твердые соединения или твердые растворы почти со всеми газами, имеющимися в вакуумных системах, кроме инертных газов и углеводородов.

При испарении газопоглотителя в замкнутом объеме на стенках образуется свежий активный слой, на поверхности которого происходит контактное поглощение газа в результате физической адсорбции, хемосорбции, а также химических реакций и растворения газа в твердой фазе.

При возбуждении и ионизации откачиваемых газов за счет электрического разряда или электронных потоков поглощение газов активными пленками идет более эффективно. С другой стороны, процесс ионизации дает возможность связать и инертные газы.