Санкт - Петербургский Государственный Политехнический

конструкции микроэлектромеханических систем»

движения.
4.Миниатюрные электрорадиомеханические
и оптоэлектромеханические компоненты

5.Микромеханизмы, микропривод, микромашины
6.Аналитические микросистемы

7.Технологические микросистемы

8.Миниатюрные робототехнические

наноэлектромеханических систем.

Основы микроэлектромеханических систем.


Основная терминология.

удобный для измерения (чаще электрический) сигнал;
актюаторы (активаторы) – преобразователи управляющего

Микросистемы по иерархической структуре:

прямого преобразования энергии, сигнала
с обратной связью
интегрированные с системой преобразования, накопления, обработки сигнала и управления (интеллектуальные);
распределенные, адаптивные (умные поверхности, нейроподобные структуры).

Микросистемы по физической природе функционирования и преобразования энергии:
микромеханические, электромеханические;
пневмо-, акустомеханические;
термоэлектромеханические;
оптоэлектромеханические;
микрофлюидные;
химико-биологические и т. д.

“Nano&MicroSystemsTechnologies”
Micro Analyzer
Mercury Micro Switch
Heat Micro Flowmeter
www.mems.ru

разработки и стоимости производства
Однотипное и одновременное создание
сложных комплексных структур
Усложнение

Низкая стоимость единичного изделия

Compute Store

99.999999999 %
Purity of Starting IC Si Wafer

не является ограничением и не ведет к удорожанию устройства
Микросистемная техника
Возможность

Низкая стоимость единичного изделия

Однотипное и одновременное создание
сложных комплексных структур

x 0.9 mm

0…10 кПа, 0…1 МПа, Частотный диапазон 0…20 кГц;
ЦАГИ
1978
Датчики давления
ЛПИ

Inspection Technologies
Пластина и кремниевые чипы
ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКОГО ТИПА
1500 шт/пл
Катетерный датчик

топливо)
Кислород
(воздух/топливо)
Давление
(MAP, топливо,
EGR )
(подушка безопасности)
Линейное
ускорение

Плотность заряда
(аккумулятор)
ENME 489F /

в 17 раз
при уменьшении себестоимости в 4 раза
Взрыватель МК 48

Микросистемная техника

Военная техника

Управление подрывом

Вт
энергетические
МЭМС –
Power MEMS

U2 - 500 м\с
Лопатки h250мкм
Групповое изготовление элементов
Воздушные подшипники
D700мкм
Гидродинамические:
спиральные канавки

Расчетные параметры
2.2 млн об/мин 60 Вт

Датчик оборотов и температуры
PolySi 50*50 мкм h,менее 1мкм

Топливный клапан
2*2мм, D1мм h3мкм
5000 шт с 1 пластины

МЭМС - источники энергии

пластины

тяга/вес 1000:1
тяговая мощность 20 кВт , удельный импульс

Огневые испытания:
тяга 1Н давление в камере до 12 атм, тяга/вес 85:1
тяговая мощность 750 Вт
Кислород –метан

Масса 1,2 г, габариты 18*13,5*3 мм

Турбонасос
Производительность 2,5 г/с

МЭМС - двигатели

MIT Microengine Project

МОЭМС
MOEMS

DOC technology

с дендромером
Встроенный
Био - чип
Интегральная микрофлюидная система для биохимического анализа

(IoT) Needs to Become a Reality

106
Уровень и прогноз
Рост числа элементов – новое качество

Микроустроства управления
Микроактуаторы
Микрофлюидика
СВЧ коммутаторы
Петербургский Государственный
Политехнический Университет
Лаборатория
нано-

микросистемной техники

ТЕХНОЛОГИИ МСТ

Edition

неполным циклом

МЭМС устройств в России находится на ранней стадии становления.
Все существующие

активного металла.
Отработана технология заполнения Неоном и парами Цезия или

приложение

155.36-2
корпусирование

….. 540oC
Турбореактивные двигатели
Active Stall & Surge Control•
Диапазон температур
-50

WCT-312

Диапазон частот
0….. 100 кГц

Диапазоны измеряемых давлений
1….. 100 атм

G-sensitivity: < .000001% FS/g

аэродинамических моделей
Диапазоны давлений 0…10 кПа, 0…1 МПа, Частотный диапазон 0…20

Многоцелевой датчик болтового типа

Ударная труба для динамической градуировки датчиков

ЛПИ 1978

ускорений до 30000 g
РАБОЧЕЕ КОЛЕСО ЦЕНТРОБЕЖНОГО КОМПРЕССОРА
ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКОГО ТИПА

защиты