1 Модуль 1. Технология производства как один из важнейших этапов создания

РЭА
Лекция №7
ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ГИГИЕНА ПРОИЗВОДСТВА
Понятие о чистом веществе

и деталей приборов от загрязнений.
Загрязнение деталей возможно на всех этапах

изготовления:

при механической обработке и штамповке,
нанесении покрытий и получения электронно-дырочных переходов,
монтаже внутри ламповой арматуры,
сборке и герметизации полупроводниковых приборов и микросхем,
заварке и откачке электровакуумных приборов.

абразивные частицы, сбитые заусеницы, остатки графитовых смазок и др.).
Неорганические

соединения, растворимые в воде (соли, остатки растворов после травления, полирования, гальванических покрытий).
Органические (жировые и масляные пленки, образующиеся при использовании различных смазок во время механической обработки деталей).
Химические соединения (окислы, сульфиды и другие соединения, связанные с поверхностью деталей химическими силами).
Газообразные загрязнения (адсорбция молекул и атомов газа на поверхности и абсорбция молекул и атом в других газах).

уровень шумов в полупроводниковых и электровакуумных приборах.
Пользование незащищенными металлическими

пинцетами вызывает

загрязнение полупроводниковых пластин металлом, которое в процессе диффузии проникает в полупроводниковый кристалл и вызывает искажение кристаллической решетки, изменяет свойства кристалла.

5 группы приводит к диффузии этих загрязнений в полупроводнике пластины,

в результате чего в р-n–переходах увеличивается ток утечки.

Оксидные пленки в процессе работы электровакуумного прибора, с загрязненной средой, разлагаются под действием электронной бомбардировки и нагрева, при этом выделяющийся кислород отравляет оксидный катод, что приводит к снижению тока эмиссии.

Органические загрязнения также разлагаются под действием электронной бомбардировки, выделяются газы, что ухудшает вакуум, снижает работу катода, понижается активность газопоглотителя, а в газоразрядных приборах возникает неконтролируемый электрический пробой.

проектирование зданий и сооружений их внутреннюю планировку и отделку (стен,

полов и потолков);
обеспечить необходимую фильтрацию, кондицирование и термостатирование воздуха, поступающего в помещения;
систематически контролировать запыленность атмосферы внутри помещений, особенно на операциях очистки, нанесения покрытий и сборки электронных приборов;
организовать технологические процессы без встречных потоков полуфабрикатов и изделий, при наименьшем передвижении работающих;
использовать персоналом специальную одежду и обувь и строго соблюдать ими определенные правила;
проводить уборку помещений по специально разработанным графикам.

зависимости от концентрации и размеров частиц пыли, содержащихся в воздухе,

рабочие помещения делятся на пять классов,
по микроклимату - на три категории.

категория микроклимата.
В таких помещениях производят:
окончательную очистку ;
контроль чистоты поверхностей деталей

внутренней арматуры приборов,
нанесение покрытий на катоды,
сборку электровакуумных приборов и их герметизацию.

термические операции получения электронно-дырочных переходов (диффузии, эпитаксиального наращиванья пленок);

операции фотолитографии

и изготовления фотошаблонов.

в производстве электронных приборов оборудуются специальные рабочие места - скафандры

(боксы) и герметизированные линии, состоящие из скафандров, внутри которых создают микроклимат.
В последнее время вместо герметичных скафандров с микроклиматом широко используются пылезащитные открытые боксы с вертикальным ламинарным потоком воздуха. Они проще в изготовлении, имеют большой объем и более удобны для размещения различного оборудования и работы сборщиков и операторов. Скорость ламинарного потока составляет 0.2 - 0,5 м/с. При такой скорости воздушного потока в открытом боксе за 1 час меняется примерно 1500 объемов воздуха. В результате очистки 1 литр. воздуха содержит не более трех частиц размером порядка 0.5 мкм.

называемыми чистыми комнатами.
отдельные комнаты, расположенные внутри рабочего помещения

не ниже 4 класса, со стабилизированным микроклиматом I категории и ограниченным количеством персонала.

Наибольшее распространение получили чистые комнаты с вертикальным ламинарным потоком. Скорость потока воздуха в них составляет 0.25 - 0,5 м/с, что соответствует 400 - 500 обменам воздуха в час. Чтобы внешний воздух не проникал через не плотности дверей и шлюзов в комнату, в ней создается избыточное давление около 10 - 20 Па.

и сборочные единицы из помещений передаются через специальные шлюзы, встроенные

в стены Отделку стен и потолка таких комнат производят пылеотталкивающими материалами. Коммуникации делают скрытыми, выступы на стенах не допускаются. Полы покрываются специальными синтетическими материалами, столы облицовываются пластмассой, нержавеющей сталью.

правила производственной гигиены.

Чтобы с одеждой персонала в чистые помещения

не заносилась пыль, спецодежду шьют из без ворсовых тканей.
Хранят спецодежду, а также личную одежду, в индивидуальных шкафах, установленных в специально отведенном месте.

хлопчатобумажной ткани,
хромовые, на кожаной подошве тапочки; хлопчатобумажная шапочка или

косынка.

Непосредственно перед работой и во время работы запрещается пользоваться косметическими средствами.

должны пользоваться резиновыми напальчниками, перчатками и пинцетами.


От работающих требуется

правильное ношение спецодежды:

своевременная ее стирка и чистка,
- периодическое мытье рук,
протирка рук, рабочего места и инструмента спиртом,

соблюдение технологической дисциплины и ограниченное передвижение в производственных помещениях.

Так как наибольшее загрязнение в чистых комнатах вносятся деятельностью людей.

Чистые комнаты проектируются из расчета (10 – 15) м2 рабочей площади на одного человека.

В этих помещениях запрещается курение, прием лиц и т.д. Детали и сборочные единицы из помещений передаются через специальные шлюзы, встроенные в стены.

температура,
влажность,
запыленность и аэродинамические параметры.
Особенно важным параметром является

запыленность.

метод основан на естественном осаждении пыли на предметное стекло микроскопа

за определенный промежуток времени. Затем подсчитывается с помощью микроскопа количество пылинок, осевших на площади в 1 см2.

Электростатический метод основан на осаждении пыли на коллектор под действием электростатического поля.

прибора основан на том, что луч света пересекает струю воздуха

в поле зрения микроскопа, который через объективы соединен с фотоэлектронным умножителем (ФЭУ).

Пылинки дают затемнение, которое регистрируется ФЭУ и после усиления подается на контрольно-измерительный вольтметр.

образования монослоя масляной пленки указывает на недопустимое содержание паров масла

в воздухе,
масляная пленка обнаруживается, если слюда не смачивается водой.