ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ имени К.Э. ЦИОЛКОВСКОГО»
Преподаватель: Князев М.И.
Выполнили: Козуютов А.В.
Сафиуллина Л.Р.Оже - микроскопия
Разделы презентаций
- Разное
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Геометрия
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего
Содержание
- 1. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего
- 2. Явление эмиссии оже-электронов
- 3. Метод оже-электронной спектроскопии
- 4. Схемы оже-переходов
- 5. Блок-схема оже-спектрометра1 – источник первичных частиц (электронов,
- 6. Участок энергетического спектраа – до дифференцированияб –
- 7. Ni – атомная концентрация, а – некоторая
- 8. Спектр оже-электронов от поверхности нержавеющей сталиВ результате
- 9. Изображение границы излома сплавов Fe – С,
- 10. Характеристики различных видов оже-спектроскопииЭОС – электронная оже-спектроскопияРОС – рентгеновская оже-спектроскопияИОС – ионная оже-спектроскопия
- 11. Оже- и рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI - 551A
- 12. При энергии пучка 10 кэВ пушка обеспечивает
- 13. ВОЗМОЖНОСТИ МЕТОДА ОЭС:- качественный и количественный анализ
- 14. Скачать презентанцию
Явление эмиссии оже-электронов было обнаружено и получило правильное объяснение в 1925г. французским физиком Пьером Оже (P. Auger). В 1953 г. были зарегистрированы пики
Слайды и текст этой презентации
Слайд 1Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «МАТИ - РОССИЙСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ имени К.Э. ЦИОЛКОВСКОГО»
Сафиуллина Л.Р.
Слайд 2 Явление эмиссии оже-электронов было обнаружено и
получило правильное объяснение в 1925г. французским физиком Пьером Оже (P.
Auger).В 1953 г. были зарегистрированы пики оже-электронов при экспериментальном изучении спектра вторичных электронов и предложен метод оже-спектроскопии.
Однако только в конце 60-х годов метод оже-спектроскопии получил распространение и признание как уникальный метод анализа химического состава поверхности и распределения химических элементов в самых тонких слоях, примыкающих к поверхности.
История
Слайд 3 Метод оже-электронной спектроскопии (ОЭС) является неразрушающим
методом анализа, который позволяет определять элементный состав поверхностного слоя на
глубине в несколько молекулярных слоев (0,5-3 нм).Средняя чувствительность к содержанию элементов около 0,1% (ат).
Метод основан на регистрации оже-электронов, испускаемых атомами при их бомбардировке высоко-энергетическими электронами (E=2-10 кэВ).
Основное преимущество метода состоит в малой глубине выхода оже-электронов благодаря их сравнительно малой энергии (E=10 эВ – 3 кэВ).
Методом оже-спектроскопии осуществляют анализ для всех элементов периодической таблицы, за исключением Н и Не.
Особенности метода
Слайд 5Блок-схема оже-спектрометра
1 – источник первичных частиц (электронов, фотонов, ионов);
2
– исследуемый образец; 3 – ионная пушка для послойного распыления
образца; 4 – энергетический анализатор электронов;5 – система регистрации и обработки данных.
Пунктиром обведена вакуумная часть прибора (≈10-6 Па).
Слайд 6Участок энергетического спектра
а – до дифференцирования
б – после дифференцирования
а)
Оже-электроны образуют однополярный пик очень малой интенсивности, который накладывается на
большой фоновой ток неупругорассеянных электроновб) Л.А. Харрис предложил продифференцировать спектр N(Е), то есть превратить его в dN/dE, в результате чего фон практически исчезает, а на месте слабого оже-сигнала появляется интенсивный двухполярный пик с амплитудой А
Слайд 7Ni – атомная концентрация, а – некоторая константа,
Ii – соответствующий
ток оже-электронов,
Si – фактор элементной чувствительности.
Расчет относительной атомной концентрации
n
– количество сортов атомов в образце Относительная атомная концентрация Ck
Слайд 8Спектр оже-электронов от поверхности нержавеющей стали
В результате расчета получены следующие
концентрации компонентов
в относительных единицах: Fe 0,68; Ni 0,09; Сr
0,22
Слайд 9Изображение границы излома сплавов Fe – С,
полученное с помощью
эмиссии электронов различного типа
(а) вторичная электронная эмиссия;
(б) эмиссия оже-электронов, характеризующих
распределение Fe;(в) эмиссия оже-электронов, характеризующих распределение С;
(г) эмиссия оже-электронов, характеризующих распределение Sb
Слайд 10Характеристики различных видов
оже-спектроскопии
ЭОС – электронная оже-спектроскопия
РОС – рентгеновская оже-спектроскопия
ИОС
– ионная оже-спектроскопия
Слайд 12При энергии пучка 10 кэВ пушка обеспечивает пучок электронов размером
95 нм при токе пучка 5 нА
Электронная пушка высокого разрешения
для проведения Оже-электронной спектроскопии, Оже-электронной микроскопии, а также растровой электронной микроскопииЭлектронная пушка FEG 1000
с полевой эмиссией
Слайд 13ВОЗМОЖНОСТИ МЕТОДА ОЭС:
- качественный и количественный анализ состава поверхности и
границ зерен с локальностью ~ 50 нм; - профиль изменения концентрации
по глубине (с использованием методики ионного травления или для клиновидных образцов); - исследование химической связи; - получение изображений поверхности образца во вторичных, обратнорассеянных и Оже электронах; - топография поверхности; - исследования поверхности в режиме растрового электронного микроскопа.
