МЕТОДЫ ЛАЗЕРНОГО ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК Выполнил: Киряков

- сменные мишени;
4 - подложка с нагревателем;
5 -

система контроля за процессом;
6 - система сканирования

Оптимальное значение интенсивности лазера, это значение при котором за один импульс можно нанести мономолекулярный слой испаренного вещества на подложку.

1 - твердотельный лазер с блоком питания; 2 - оптическая система;
3 - сверхвысоковакуумная установка;
4 - источник дополнительной энергии

- СО2-лазер - источник нагрева;
4 - оптический ввод из

GaAs;
5 - поворотное зеркало;
6 - сменное вращающееся сферическое зеркало;
7 - экран; 8 - подложка;
9 - вакуумная камера

Данный способ позволяет:
Варьировать величину энергопотока в пределах от 108 до 1016 Вт/м2
Изменять длительность его воздействия от непрерывного до величины 10-10 с

пары испаряемого материала; 3 - подложка; 4 - мишень; 5

- лазерный луч; 6 - электрод поджига; 7 - система синхронизации лазерного и дугового импульсов

Особенности:
Дополнительная энергия в виде дугового разряда между мишенью и электродом.
Многократно большие скорости испарения.
Можно использовать при меньших лазерных энергиях (это позволит сохранить оптику)

импульсная скорость напыления, которая примерно на 3 порядка превышает скорость

термического напыления и на 4-5 порядков - ионно-плазменного.
Недостаток лазерных систем испарения - малые скорости нанесения пленок на подложку - может быть ликвидирован совместным использованием дугового испарителя и лазерного излучения. При этом лазер несет функцию управляющей и стимулирующей системы, а дуговой разряд обеспечивает основную энергетику процесса.