МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Федеральное

профессионального образования
УРАЛЬСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
имени первого Президента России Б. Н. Ельцина
ИНСТИТУТ

ЕСТЕСТВЕННЫХ НАУК
Департамент «ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ»

Выполнила:
студентка группы И-303
Гимадеева Л. В.

Екатеринбург 2013

Электронная
литография

процесс с экспонированием (облучением) резиста с помощью электронного пучка.

полимера под действием ионизирующего излучения (электронного пучка).

Резисты бывают позитивными

и негативными.

Электронные резисты

проекционная литография
Сканирующая система электронно-лучевой литографии.
Проекционная система электронно-лучевой литографии.

менее или равными 0,01 мкм;
С высокой точностью контролировать дозу электронного

пучка, падающего на резист и подложку;
Легко отклонять и модулировать электроны пучок с высокой точностью электрическими и магнитными полями;
Формировать в ряде случаев топологию схемы непосредственно на пластине;
Автоматизировать технологию создания топологического рисунка;
Профилировать электронный пучок.

Существенным недостатком электронно-лучевой литографии является её малая производительность по сравнению с оптической.

Достоинства и недостатки

сложный и дорогостоящий для коммерческого применения метод создания и промышленного

производства самых различных устройств и компонентов устройств, позволяющий достигнуть разрешения в 1 нм.

Заключение

ионнной технологии. — М.: Высшая школа, 1984. — 320 с.4
Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры,

нанотехнологии. - М., Наука-Физматлит, 2007. - 416 с.

Статьи по электронной литографии: [электронные ресурсы]

http://proizvodim.com/elektronnoe-izluchenie-i-elektronnaya-litografiya.html
http://thesaurus.rusnano.com/wiki/article1093
http://www.nanonewsnet.ru/news/2010/novaya-elektronnaya-litografiya
http://all4study.ru/fizika/elektronno-luchevaya-litografiya.html