как отношение линейного размера элемента изображения к линейному размеру элемента
отображения (пикселю). Поэтому, чем больше увеличение РЭМ, тем меньше размер растра электронного зонда по поверхности образца.
При указанном выше размере ЭЛТ увеличению М = 1000 соответствует размер растра на образце 0,1х0,1 мм, а элемент изображения имеет линейный размер 0,1 мкм. При этом и диаметр электронного зонда должен иметь тот же размер.
Размер зонда нецелесообразно делать меньше величины элемента изображения, так как при этом часть области сканирования не облучается электронным пучком и величина тока отраженных и вторичных электронов меньше, чем могла бы быть. Если размер зонда больше элемента изображения, то положение электронного пучка на образце неоднозначно связано с элементом отображения на экране ЭЛТ, так как информация усредняется по нескольким элементам изображения.