a hollow cathode reactive ion etching reactor using Langmuir probe
and optical emission spectroscopy techniques»Выполнил Лисовский Степан
Разделы презентаций
- Разное
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Геометрия
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
Разбор статьи Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing
Содержание
- 1. Разбор статьи Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing
- 2. Введение в статью Ключевые моменты:Использование HCRIE реактораИспользование
- 3. HCRIE реактор
- 4. Зонд Ленгмюра
- 5. Актинометрия
- 6. Эффективная температура
- 7. Результаты по влиянию питания
- 8. Результаты по влиянию концентрации кислорода
- 9. Результаты по генерации атомов фтора
- 10. Итоги:При малых давлениях и высоком питании ФРЭ
- 11. Спасибо за внимание!
- 12. Скачать презентанцию
Введение в статью Ключевые моменты:Использование HCRIE реактораИспользование зондов ЛенгмюраИспользование актинометрииПонятие эффективной температурыИсследование влияния питанияИсследования влияния дополнительного кислородаИсследование генерации атомов фтора
Слайды и текст этой презентации
Слайд 2Введение в статью
Ключевые моменты:
Использование HCRIE реактора
Использование зондов Ленгмюра
Использование актинометрии
Понятие эффективной
температуры
Исследование влияния питания
Исследования влияния дополнительного кислорода
Исследование генерации атомов фтора
Слайд 10Итоги:
При малых давлениях и высоком питании ФРЭ би-Максвелловская
С увеличением давления
концентрация электронов уменьшается
Температура резко увеличивается от 6 до 18эВ с
увеличением давления от 6,3 до 56,6мТорр при фиксированном питанииКонцентрации положительных и отрицательных ионов практически равны
Концентрация электронов может быть увеличена добавлением кислорода, однако температура уменьшится
Скорость травления в плазме с высокой концентрацией атомов фтора – 2-5 мкм/мин
