Санкт - Петербургский Государственный Политехнический

сенсоров: диапазон измерения, чувствительность, точность, линейность, селективность.
Стандартизация и сертификация

Сенсоры – преобразователи внешнего физического воздействия в удобный для измерения сигнал;

Стандартизация и сертификация сенсоров.

Лекция 2

Виды преобразователей. Датчики на основе микромеханических преобразователей.

генерируемого на поверхности пьезоэлектрического
кристалла, пропорциональна силе, приложенной, например, в направлении
оси

При емкости преобразователя С, напряжение определяется
выражением:

d11 пьезоэлектрический коэффициент вдоль оси

деформации е
Se – коэффициент тензочувствительности
для металлических проводников в пределах

пропорционально расстоянию между ними d:
Емкостные преобразователи.

разработки и стоимости производства
Однотипное и одновременное создание
сложных комплексных структур
Усложнение

Низкая стоимость единичного изделия

to form
thermally isolated sensor
structures

Si-пк
ФЛГ по Si-пк
Удаление жертвенного слоя
Осушка