ОСНОВЫ НАНОИНЖЕНЕРИИ Инструменты и методы наноинженерии

а – до дифференцирования, б – после дифференцирования        

полями
1 – образец,
2 – коллектор для сбора вторичных

электронов,
3 – энергоанализатор,
4 – детектор энергоанализатора,
5 – электронно-лучевая трубка,
6 – катод электронной пушки,
7 – модулятор электронной пушки, 8 – отклоняющие пластины электронно-лучевой трубки, служащие для получения растра,
9 – экран электронно-лучевой трубки.

– внутренний цилиндр,
3 – внешний цилиндр,
4 – окна

для входа и выхода электронов,
5 – коллектор,
6 – магнитный экран.

Спектр оже-электронов от поверхности нержавеющей стали.

органических и неорганических веществ; контроль качества лекарственных препаратов; диагностика материалов;

количественные исследования химических процессов.

3266 см-1

1636 см-1

Н2О

систем
Установление точной химической структуры
Подтверждение идентичности и определение степени

чистоты химических соединений
Определение трехмерного стереохимического строения молекул и конформационный анализ
Исследование динамики молекул, межмолекулярного взаимодействия, механизмов химических реакций
Определение топологии схем связывания сложных молекул (полипептиды)
Исследование динамических процессов (химический обмен)
Полный ЯМР анализ, включая двумерные методики COSY, NOESY, ROESY, TOCSY, HSQC, HMQC, HMBC и др.

том числе в наноплёнках и нанокластерах);
определение расстояний между соседними

атомами с точностью ~ 0,0005 нм;
определение энергетики химических связей;
определение электронного строения вещества;
определение локального химического состава вещества.
Метод применим для любого агрегатного состояния вещества: кристаллического, аморфного, жидкого, газообразного.
Исследуемые материалы
Полупроводники, металлы, керамика, композитные материалы, минералы, углеродные материалы (в том числе наноразмерные объекты), многослойные эпитаксиальные структуры, лазерные кристаллы, сцинтиляторы, люминофоры, геологические объекты.

материала в микрообъеме порядка 1-3 мкм на все элементы таблицы Менделеева,

начиная с бора.
Предел обнаружения для элементов, начиная с натрия, составляет порядка 0,01 масс.%, для легких элементов порядка процента.
Определение состава тонких пленок с толщиной от 50 нм.
Получение профилей (распределения) элементов в многослойных структурах по сколу образца
Получение распределения элементов по поверхности неоднородных по составу образцов.
Получение изображения поверхности в режиме растровой электронной микроскопии (во вторичных или поглощенных электронах)