(1)
(2)
Очистка 28SiH4, 29SiH4, 30SiH4
от фторсодержащих примесей
Глубокая очистка 28SiH4, 29SiH4, 30SiH4
1. Криофильтрация
2. Низкотемпературная ректификация
Схема получения высокочистых
моноизотопных силанов
Содержание примесей в очищенном силане
Изотопный состав силанов
Если не удалось найти и скачать доклад-презентацию, Вы можете заказать его на нашем сайте. Мы постараемся найти нужный Вам материал и отправим по электронной почте. Не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас возникли вопросы или пожелания:
Email: Нажмите что бы посмотреть