участвующих в процессе электронных уровней, а они являются характерными для
каждого элемента, возникает характеристическое рентгеновское излучение. Так как каждый атом имеет вполне определенное конечное число уровней, между которыми возможны переходы только определенного типа, характеристическое рентгеновское излучение дает дискретный линейчатый спектр.
Если определить энергии или длины волн спектра характеристического рентгеновского излучения, то можно сделать выводы об элементах, содержащихся в образце, т.е. провести качественный анализ. Это основа рентгеновского микроанализа.
Если по характеристическому спектру можно определить интенсивность линий участвующих элементов (как правило, α-линий), то на этой основе можно выполнить количественный анализ элементов.