Весна 2016
Лекция 10
Интегральные микросхемы (часть 2)
Производство интегральных микросхем
Разделы презентаций
- Разное
- Английский язык
- Астрономия
- Алгебра
- Биология
- География
- Геометрия
- Детские презентации
- Информатика
- История
- Литература
- Математика
- Медицина
- Менеджмент
- Музыка
- МХК
- Немецкий язык
- ОБЖ
- Обществознание
- Окружающий мир
- Педагогика
- Русский язык
- Технология
- Физика
- Философия
- Химия
- Шаблоны, картинки для презентаций
- Экология
- Экономика
- Юриспруденция
1 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных
Содержание
- 1. 1 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных
- 2. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 3. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 4. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 5. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 6. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 7. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 8. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 9. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 10. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 11. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 12. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 13. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 14. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 15. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 16. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 17. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 18. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 19. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 20. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 21. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 22. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 23. Слайд 23
- 24. ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство
- 25. Слайд 25
- 26. Скачать презентанцию
ХНУРЭ Факультет КИУКафедра ЭВМ тел. 70-21-354Производство интегральных микросхем
Слайды и текст этой презентации
Слайд 1ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Слайд 2ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Производство интегральных микросхем
Основные этапы:
Изготовление монокристалла
2. Разрезка монокристалла на пластины и их подготовка
3. Формирование слоев
4. Металлизация
5. Резка пластин
6. Установка в корпус
Слайд 3ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Изготовление монокристалла методом Чохральского
1-Тигель с расплавом
2. – печь
3 – затравка
4 – холодильник
5 – механизм вытягивания
Слайд 4ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Разрезка монокристалла на пластины
Слайд 5ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Схема формирования слоев методом фотолитографии
Слайд 6ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO2
Слайд 7ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Нанесение фоторезистива
Слайд 8ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Формирование рисунка
Слайд 9ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Фотошаблон
Слайд 10ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка EUV-литографии
Слайд 11ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка EUV-литографии
Слайд 12ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Травление
Слайд 13ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Схема установки травления, промывки и сушки
1 – ротор
2 – днище камеры с отверстием
3 – форсунка сушки
4 – форсунка травления и отмывки
5 – платформа с пластинами
6 – съемная крышка
Слайд 14ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Формирование слоев
(диффузия)
Слайд 15ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Рабочая камера диффузионной печи
Слайд 16ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Метод ионной имплантации
Слайд 17ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Метод ионной имплантации
Слайд 18ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Ломка пластин на отдельные кристаллы
Слайд 19ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Установка в корпус
Слайд 22ХНУРЭ Факультет КИУ
Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354
Производство интегральных микросхем
Весна 2016
Технология
«напряженный кремний»
