1 ХНУРЭ Факультет КИУ Кафедра ЭВМ тел. 70-21-354 Производство интегральных

Лекция 10
Интегральные микросхемы (часть 2)
Производство интегральных микросхем

Производство интегральных микросхем
Основные этапы:
Изготовление монокристалла
2. Разрезка монокристалла на пластины и их подготовка
3. Формирование слоев
4. Металлизация
5. Резка пластин
6. Установка в корпус

Изготовление монокристалла методом Чохральского

1-Тигель с расплавом
2. – печь
3 – затравка
4 – холодильник
5 – механизм вытягивания

Разрезка монокристалла на пластины

Схема формирования слоев методом фотолитографии

Нанесение защитной пленки диэлектрика SiO2

Нанесение фоторезистива

Формирование рисунка

Фотошаблон

Установка EUV-литографии

Установка EUV-литографии

Травление

Схема установки травления, промывки и сушки

1 – ротор
2 – днище камеры с отверстием
3 – форсунка сушки
4 – форсунка травления и отмывки
5 – платформа с пластинами
6 – съемная крышка

Формирование слоев
(диффузия)

Рабочая камера диффузионной печи

Метод ионной имплантации

Метод ионной имплантации

Ломка пластин на отдельные кристаллы

Установка в корпус

Технология
«напряженный кремний»