Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Федеральное

учреждение высшего образования
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ (ТУСУР)
Кафедра

Физической электроники (ФЭ)
«ОЗНАКОМЛЕНИЕ С ТЕХНОЛОГИЕЙ И ПРОИЗВОДСТВОМ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АПАРАТУРЫ (ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ)»
Отчёт
по производственной практике
Студент гр. № 326
В.А. Сокуренко.
Руководитель практики от АО «НЦП Полюс»:
И. о. начальника лаборатории
В.П. Парначев
. 
Руководитель практики от университета:
ст. преп. кафедры ФЭ
В.В. Каранский
Томск 2019

учреждение высшего образования
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ(ТУСУР)
 
Кафедра Физической

электроники (ФЭ)

ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
1. Тема практики: Ознакомление с технологией и производством микроэлектронной аппаратуры (тонкопленочная технология).
2. Цель практики: Ознакомиться с технологией и производством микроэлектронной аппаратуры на территории профильной организации АО «НЦП Полюс».
3. Задачи практики:
3.1 Ознакомится с нормативной и технологической документацией производства микроэлектронной аппаратуры;
3.2 Ознакомление с производством микроэлектронной аппаратуры, в т.ч. рабочими местами, оборудованием, оснащением;
3.3 Проведение экспериментальных пробных работ;
3.4 Оформление технического отчета.
4. Исходные данные: Техническая документация, пробный образец – резистивная матрица, Омметр Щ306-1, программа по расчету ЭРИ.
5. Технические требования к отчету по практике: Оформление отчета в соответствии со стандартами ТУСУР.

создании наукоемкого бортового и наземного электротехнического оборудования, и систем точной

механики. Разработанные и изготовленные на предприятии комплексы, и устройства эксплуатируются в автоматических космических аппаратах связи и телевещания ("Молния", "Галс", "Экспресс-А", "Экспресс-АМ", "Глонасс"), дистанционного зондирования Земли ("Ресурс-ДК"), космического мониторинга природной среды ("Метеор"), исследования дальнего космоса ("Фобос", "Марс"), на Международной космической станции. Из новых научно-технических направлений деятельности следует отметить создание, организацию производства и внедрение корабельных электроприводов и малошумных электровентиляторов для систем вентиляции, кондиционирования, а также нового поколения индукционных датчиков повышенной точности для авиационной техники (АН-148, ЯК-130, АН-70, HJT-36).

3

простых МСБ изготавливаемых на АО «НЦП Полюс»
Производство микросборок в ОАО

«НПЦ «Полюс» организовано в 1992 году.
В его состав входят участки:
– изготовления фотошаблонов, сетчатых трафаретов, вакуумного напыления, фотолитографии, нанесения и вжигания паст, сборки и монтажа;
– настройки и испытаний, герметизации и контроля герметичности;
– службами предприятия выполняются входной контроль материалов, бескорпусных ЭРИ, в т. ч. ДИ, отбраковочные и приемосдаточные испытания (электрические, механические и климатические, в т.ч. вакуумные), испытания на безотказность.

4

подложка с напыленной резистивной матрицей на основе сплава PC-3710.
Проверка показала,

что все резисторы рабочие, что говорит о правильности проведения всех технологических операции, предшествующих испытаниям.

5

разброса образцов по номиналам. На рисунке 3 представлена диаграмма разброса

номиналов.

Рисунок 3 – Разброс номиналов резисторов

6

что построенный разброс по толщине совпадает с классическим. В центре

подложки должна быть максимальная толщина (минимальное сопротивление), а к периферии она должна уменьшаться (максимальное сопротивление). Центр толщины смещен, что наверняка вызвано ошибками в процессе напыления и траления пленок.
В программе Excel были выбраны минимальное и максимальное значение сопротивления. Минимальное значение 9600 Ом, максимальное 10450 Ом. В документации прилагающийся к резистивной матрице указан эталон 9500 Ом, допуск на номинал 10%. Таким образом измеренное сопротивление укладывается в указанный диапазон значении.

7

ознакомление интерфейса программы и определение выделяющейся температуры всей конструкции.
Рисунок 4

– Интерфейс программы для расчета температуры ЭРИ

8

расчета температур
Таблица 1 – Данные для расчета температур
9

ЭРИ
10

производством микросборок на предприятии АО «НПЦ «Полюс», в т. ч.

рабочими местами, оборудованием, оснащением.
Был ознакомлен с нормативной и технологической документацией производства микроэлектронной аппаратуры.
Выполнено практическое задание от руководителя практики. Провел экспериментальные работы по измерению сопротивления ТПР и температур ЭРИ по программе.
По результатам практики были приобретены следующие компетенции из обще перечисленного списка во введении отчета: ПК-1, ПК-3, ПК-8, ПК-9, ПСК-1.

11