Слайд 1Оптические свойства полупроводников
Лекция по метрологии
Колкер Д.Б.
Слайд 13Способы возбуждения люминесценции
Слайд 14Способы возбуждения люминесценции
Слайд 15Способы возбуждения люминесценции
Слайд 16Фотоприемники
Фотоприемники
– полупроводниковые приборы, регистрирующие оптическое излучение и преобразующие оптический
сигнал на входе в электрический сигнал на выходе фотодетектора.
Слайд 17Статистические параметры фотоприемников:
Если на выходе фотоприемника изменяется ток, то фотоприемник
характеризуется токовой чувствительностью Si. Токовая чувствительность – величина, характеризующая изменение
тока, снимаемого с фотоприемника при единичном изменении мощности падающего оптического излучения:
Si = dI/dP (А/Вт)
Слайд 18Если регистрируемый сигнал на выходе фотоприемника - напряжение, то вводят
понятие вольтовая чувствительность – как величина, показывающая, на сколько изменится
напряжение на выходе фотоприемника, при единичном изменении мощности падающего лучистого потока:
Слайд 19К фотоприемникам относятся:
Фотодиоды
Фоторезисторы
Фототранзисторы
P-I-N Фотодиоды
и др. типы
Слайд 20Процессы лежащие в основе действия фотоприемников:
Генерация носителей под действием внешнего
излучения.
Перенос носителей и умножение за счет того или иного
механизма, характерного для данного прибора.
Взаимодействие тока с внешней цепью, обеспечивающее получение выходного сигнала.
Слайд 21Фотодетекторы должны обладать
высокой чувствительностью и быстродействием
низким уровнем шумов
иметь малые размеры
низкие управляющие напряжения и токи.
Слайд 22Фотодиоды
Принцип действия:
под действием оптического излучения образуется электронно-дырочная пара
и в области пространственного заряда p-n перехода резко возрастает обратный
ток фотодиода.
Схема фотодиода:
Слайд 23Структурная схема фотодиода.
1 — кристалл полупроводника;
2 — контакты;
3 — выводы;
Φ —
поток электромагнитного излучения;
Е — источник постоянного тока;
RH — нагрузка
Слайд 25Рассмотрим фотодиод на основе р-п перехода
Слайд 26ВАХ фотодиода
Iтемн=Io (eßVg - 1)
Io = qLpPno /tp +
q Ln N po/tn
Слайд 27При освещении фотодиода происходит генерация электронно-дырочных пар. Во всем проводнике
изменяется концентрация неосновных носителей, следовательно возрастает дрейфовая компонента тока, а
диффузионная не меняется.
IФ = qLp ∆P /tp + qLn∆N/tn = I∆PE +I∆NE
Слайд 28Полный ток в фотодиоде
I = IФ + Iтемн
Фототок от напряжения
не зависит.
Область поглощения светового потока должна принадлежать промежутку (-Lp,n;Lp,n)
ВАХ
сдвигаются эквидистантно.
Слайд 30Расчет полного тока
In -
обусловлена равновесными и избыточными электронами в
р-области
Iг - обусловлена термо- и фотогенерацией электронно-дырочных пар в области пространственного заряда p-n перехода
Iр - обусловлена дырками в n-области
Iт - плотность темнового тока
Iф - добавка за счет действия оптического излучения
Вклад в In и Ip дают те носители, которые не рекомбинируют с основными носителями и достигают за счет диффузии p-n перехода.
Слайд 31Фоторезистор
Фоторезистор - это пластина полупроводника, на противоположных концах которого расположены
омические контакты.
Схема фоторезистора:
Слайд 32Поток внутри полупроводника:
Фо - падающий поток
R - коэффициент отражения
a -
коэффициент поглощения
Sф - площадь
Слайд 33Работа фоторезистора характеризуется:
1. Квантовой эффективностью (усиление)
Поскольку концентрация изменяется по закону:
где T -время релаксации, то коэффициент усиления по току
выражается:
Слайд 34 2. Время фотоответа: зависит от времени
пролета. Обычно у фоторезистора время ответа больше, чем у фотодиода,
поскольку между контактами большое расстояние и слабое электрическое поле.
3. Обнаружительная способность.
Слайд 35P-I-N Фотодиод
P-I-N Фотодиод построен на обычном p-i-n диоде. Эти
приборы являются наиболее распространенными, так как толщину обедненной области можно
сделать такой, что обеспечивается оптимальная квантовая эффективность и быстродействие.
Слайд 36Фототранзистор
Фототранзистор дейсвует также как и остальные
фотодетекторы, однако транзисторный эффект обеспечивает усиление фототока. По сравнению с
фотодиодом фототранзистор более сложен в изготовлении и уступает ему в быстродействии (из-за большей площади).
Слайд 37Устройство и эквивалентная схема:
Переход база - коллектор
играет роль чувствительного элемента. На рисунке он показан в виде
диода с параллельно включенной емкостью, имеет большую площадь
Слайд 38Фототранзистор особенно эффективен, так как обеспечивает высокий коэффициент преобразования по
току(50% и более). В режиме работы с плавающей базой фотоносители
дают вклад в ток коллектора в виде фототока Iph. Кроме того, дырки фотогенерируемые в базе, приходящие в базу из коллектора, уменьшают разность потенциалов между собой и эмиттером, что приводит к инжекции электронов через базу в коллектор.
Общий ток:
Слайд 41На барьере Шоттки
В области пространственного
заряда диода с барьером Шоттки на основе полупроводника n-типа при
обратном смещении генерируемые электронно - дырочные пары разделяются электрическим полем, и дырки выбрасываются в металлический контакт, а электроны - в базу. Так как ОПЗ имеет малую ширину и примыкает к светоприемной поверхности, то такие фотодиоды обладают высокой квантовой эффективностью и высоким коэффициентом поглощения в области малых длин волн. Оптическое излучение полностью поглощается в ОПЗ фотодиода.
Слайд 42Диод Шоттки (диод с барьером Шоттки) — полупроводниковый диод, выполненный
на основе контакта металл - полупроводник;
назван в честь немецкого
учёного Вальтера Шоттки, создавшего в 1938—1939 г.г. основу теории таких диодов.
Слайд 43Принцип работы
Рассмотрим контакт металл - полупроводник. Если приповерхностная область полупроводника
обеднена основными носителями, в этом случае в области контакта со
стороны полупроводника формируется область пространственного заряда ионизованных доноров или акцепторов и реализуется блокирующий контакт, или барьер Шоттки.
Рассмотрим условие возникновения барьера Шоттки. Ток термоэлектронной эмиссии с поверхности любого твердого тела определяется уравнением Ричардсона:
Барьер Шоттки
Слайд 44 Для контакта металл -
полупроводник n-типа выберем условие, чтобы термодинамическая работа выхода из полупроводника
Фп/п была меньше, чем термодинамическая работа выхода из металла ФМе. В этом случае согласно уравнению Ричардсона ток термоэлектронной эмиссии с поверхности полупроводника jп/п будет больше, чем ток термоэлектронной эмиссии с поверхности металла:
Ме > п/п ; jМе < jп/п
При контакте таких материалов в начальный момент времени ток из полупроводника в металл будет превышать обратный ток из металла в полупроводник и в приповерхностных областях полупроводника и металла будут накапливаться объемные заряды - отрицательные в металле и положительные в полупроводнике. В области контакта возникнет электрическое поле, в результате чего произойдет изгиб энергетических зон. Вследствие эффекта поля термодинамическая работа выхода на поверхности полупроводника возрастет. Этот процесс будет проходить до тех пор, пока в области контакта не выравняются токи термоэлектронной эмиссии и соответственно значения термодинамических работ выхода на поверхности.
Слайд 45Зонная диаграмма ДБШ
Зонная диаграмма барьера Шоттки при различных напряжениях на
затворе:
а) VG = 0;
б) VG > 0, прямое смещение;
в) VG
0, обратное смещение
Слайд 462.3 Вольт-амперная характеристика барьера Шоттки
Вольт-амперная характеристика барьера Шоттки имеет
ярко выраженный несимметричный вид. В области прямых смещений ток экспоненциально
сильно растёт с ростом приложенного напряжения. В области обратных смещений ток от напряжения не зависит. В обоих случаях, при прямом и обратном смещении, ток в барьере Шоттки обусловлен основными носителями - электронами. По этой причине диоды на основе барьера Шоттки являются быстродействующими приборами, поскольку в них отсутствуют рекомбинационные и диффузионные процессы. Зависимость тока от напряжения обусловлена изменением числа носителей, принимающих участие в процессах зарядопереноса. Роль внешнего напряжения заключается в изменении числа электронов, переходящих из одной части барьерной структуры в другую.
Вольт-амперная характеристика
барьера Шоттки
Слайд 47Диод Шоттки
Структура детекторного Шотки диода :
1 — полупроводниковая подложка;
2 — эпитаксиальная плёнка;
3 — контакт металл — полупроводник;
4 — металлическая плёнка;
5 — внешний контакт
Слайд 48На гетеропереходах
Полупроводник с более широкой
запрещенной зоной используется как окно, которое пропускает оптическое излучение с
энергией, меньшей чем ширина запрещенной зоны без заметного поглощения. И тогда эффективность фотодиода будет зависеть только от того, на каком расстоянии расположен p-n переход от светоприемной поверхности.
Важно использовать гетеропереход с малой величиной обратного темнового тока, которую можно обеспечить, сводя к минимуму плотность граничных состояний, ответственных за появление, например, части тока, обусловленной фотогенерацией электронно-дырочных пар в ОПЗ p-n перехода. Это обеспечивается за счет согласования постоянных решеток обоих полупроводников
Слайд 49Лавинные фотодиоды
На них подается обратное
напряжение, достаточное для развития ударной ионизации в ОПЗ, то есть,
сила фототока, квантовый выход и чувствительность возрастают в М раз (М - коффициент лавинного умножения). Преимущество заключается в том, что они имеют меньшее значение мощности, эквивалентной шуму.
Слайд 50Лавинные фотодиоды
При подаче сильного обратного смещения (близкого к напряжению лавинного
пробоя, обычно порядка нескольких сотен вольт для кремниевых приборов), происходит усиление фототока
(примерно в 100 раз) за счёт ударной ионизации ( лавинного умножения) генерированных светом носителей заряда.
энергия образовавшегося под действием света электрона увеличивается под действием внешнего приложенного поля и может превысить порог ионизации вещества, так что столкновение такого «горячего» электрона с электроном из валентной зоны может привести к возникновению новой электрон-дырочной пары, носители заряда которой также будут ускоряться полем и могут стать причиной образования всё новых и новых носителей заряда.
Слайд 51Структура ЛФД
Структура лавинного фотодиода на основе кремния: 1 — омические контакты,
2 — антиотражающее покрытие
Слайд 52Лавинные фотодиоды
коэффициент лавинного умножения (M),
L — длина обрасти пространственного заряда, α —
коэффициент умножения для электронов (и дырок). Этот коэффициент сильно зависит
от приложенного напряжения, температуры и профиля легирования. требование : стабилизация питающего напряжения и температуры, либо учёт температуры задающей напряжение схемой
Слайд 53ЛФД
где Ub — напряжение пробоя. Показатель степени n принимает значения от 2
до 6, в зависимости от характеристик материала и структуры p —
n-перехода
Зависимость тока (I) и коэффициента умножения (M)от обратногонапряжения (U) на ЛФД.
Слайд 54Зависимость тока (I) и коэффициента умножения (M)от обратного напряжения (U) на ЛФД.
Слайд 55Шумы ЛФД
последовательные и параллельные.
Последовательные : следствие дробовых флуктуаций и в основном
пропорциональны ёмкости ЛФД
параллельные связаны с механическими колебаниями прибора и
поверхностными токами утечки.
Другим источником шума является фактор избыточного шума (excess noise factor),bvF. В нем описываются статистические шумы, которые присущи стохастическому процессу лавинного умножения M в ЛФД. Обычно он выражается следующим образом:
- соотношение коэффициентов ударной ионизации для дырок и электронов.
Слайд 56Зонная диаграмма лавинного фотодиода на гетероструктуре InP-InGaAs. Фототок образован дырками.