ТГУ, 2008, 440 с.
2. Туманов Ю.Н. Низкотемпературная плазма и высокочастотные
электромагнитные поля в процессах получения материалов для ядерной энергетики. – М.: Энергоатомиздат, 1989, -280 с.: илл.3. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. М., «Высшая школа», 1984, 320 с.
4. Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко Н.Н. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. М., «Энергоатомиздат», 1986, 248 с.
5. Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991, 240 с.
6. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М., «Энергоатомиздат», 1987, 264 с.
7. Диденко А.Н., Лигачёв А.Е., Куракин И.Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М., «Энергоатомиздат», 1987, 184 с. с илл.